氮化硅陶瓷
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行业新知丨采用DLP技术制备带有嵌入式微通道的α- Si₃N₄ / Si₃N₄w / SiCN陶瓷基底
本研究采用DLP 3D打印技术作为制备集成嵌入式微流控SiCN陶瓷基底的预处理措施。通过优化混合填料中Si₃N₄晶须的含量,成功制备了收缩率极低且断裂韧性极高的SiCN复合陶瓷。
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